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什么是纳米光刻机? 纳米光刻机是一种用于制造微电子芯片的关键工具。它使用光学技术将芯片上的图案投影到硅片上,并通过化学反应将图案转移到硅片上。光刻机的分辨率越高,就可以制造出更小的芯片,从而提高芯片的性能和密度。 目前,中国制造的最新纳米光刻机是ASML公司的EUV光刻机,它的分辨率可以达到7纳米。这是目前全球最先进的光刻技术之一,可以制造出更小、更快、更节能的芯片。 中国制造的EUV光刻机的技术特点 EUV光刻机是一种使用极紫外光(EUV)的光刻技术。相比传统的紫外光刻技术,EUV光刻机具有